在線質譜氣體分析系統
BSD-MASS 在線質譜氣體分析系統（美國英福康 INFICON）
Oline Mass spectrometer Gas Analyzer
四極桿質譜：德國英福康（INFICON）在線質譜（原產地：美國，提供原產地證明和原廠校驗證書）；
質譜檢測器：法拉第杯Faraday Cup (FC)和電子倍增器Electron Multiplier (EM)；
質量數：默認1-100amu；選配1-200amu或1-300amu；
燈絲：鍍銥燈絲，2套，一用一備，軟件切換；
采樣壓力：默認100±10kpa，其它采樣壓力需定制；
氣體采樣流量：默認5SCCM，低可至0.2SCCM的超微采樣量；
響應速度：可在低至＜5SCCM的微流量采樣量下，仍然保持超快速的響應，響應時間＜1秒；（脫離采樣量的響應時間沒有價值）
分辨率：＜0.5ppm（40amu）；
掃描速度：高可達1.8毫秒/amu；
渦輪分子泵：愛德華，抽速85L/s，極限真空110E-12mbar；
干泵：渦旋干泵，抽速20L/S，極限真空110E-1mbar；
分流系統：具有，高精度分流系統是快速靈敏響應速度的保證。
質譜腔體加熱烘烤：具有，烘烤溫度150℃；
其它功能：
零焊縫超高真空質譜腔體技術（將傳統的4焊縫降低到0焊縫）；
分子泵高真空大流導MAX接口技術（將流導面積增加3倍以上，流導長度縮短5倍以上），從而獲得極限靈敏度；
分子泵電流電壓監測，質譜腔體溫度監測；
采樣管線防蒸汽凝結技術；采樣口防堵技術；
從左至右：英福康中國華北區經理，貝士德儀器總工，英福康美國工廠傳感器部門經理、質譜部門經理
技術交流
在線質譜氣體分析系統
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