UV-NIL /SmartNIL®系統

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供產品線，包括不同的單步壓印系統，大面積壓印機以及用于高效母版制作的分步重復系統。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術。高效，*的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和少的殘留層，并具有易于調整的晶圓尺寸和產量。

EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期承諾，即納米壓印是一種用于大規模生產微米和納米級結構的，和具有批量生產能力的技術。

選擇您的UV-NIL /SmartNIL®系統

EVG®610 UV-納米壓印光刻系統

具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統，從小件到150毫米

EVG®620NT SmartNIL®UV納米壓印光刻系統

具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統，采用EVGSmartNIL®技術，可達100 mm

EVG®6200NT SmartNIL®UV納米壓印光刻系統

具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統，采用EVGSmartNIL®技術（150毫米）。

EVG®720 自動化的SmartNIL®UV納米壓印系統

具有EVGSmartNIL®技術的自動全場UV納米壓印解決方案可達150毫米。

EVG®7200 自動化SmartNIL®UV納米壓印光刻系統

具有EVGSmartNIL®技術的自動全場UV納米壓印解決方案200毫米

EVG®7200LA 自動化的大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統

大面積的共形納米壓印光刻技術。

HERCULES®NIL 集成的SmartNIL®UV-NIL系統

集成的納米壓印光刻解決方案，用于大規模生產，具有EVGSmartNIL®壓印技術。

EVG®770 分步重復納米壓印光刻系統

分步重復納米壓印光刻技術，可實現高效的母版制作。

IQAligner® 自動化紫外線納米壓印光刻系統

UV壓印系統，用于晶圓級透鏡成型和堆疊。