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PICOSUN原子層沉積系統ALD R-1000 Pro

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:PICOSUN原子層沉積系統ALD R-300 Pro
  • 品牌:
  • 產品類別:其他電子產品制造設備
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2023-01-05 10:20:26
  • 瀏覽次數:8
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  • 經營模式:其他
  • 商鋪產品:522條
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產品簡介

PICOSUN原子層沉積系統ALDR-1000 Pro(PICOSUN™ALDALDP-1000Pro) 名稱:原子層沉積系統 產地:芬蘭 Picosun簡介Picosun是一家公司,Picosun的總部位于芬蘭的Espoo,其生產設施位于芬蘭的Masala(Kirkkonummi)

詳情介紹

PICOSUN原子層沉積系統ALD R-1000 Pro

PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro

名稱:原子層沉積系統 產地:芬蘭

Picosun簡介

Picosun是一家公司,Picosun的總部位于芬蘭的Espoo,其生產設施位于芬蘭的MasalaKirkkonummi)。PICOSUN®ALD設備專為高產量和高產量而設計,并且不斷發展以提。Picosun適應性強其客戶包括zui 大的電子制造商,小型的型挑戰者以及的大學。 Picosun的組織機構和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發工具具有的內置可擴展性,可確保將研究結果平穩過渡到大批量工業制造中,而不會出現技術差距。Picosun的熱情在于。當您想與設備制造商共同創建定制的ALD解決方案,從而引ling行業發展時,Picosun是您的合作伙伴。

型號:PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro

PICOSUN™ P系列量產ALD系統定義了高產量ALD的新時代。我們全自動化、真空集群與產線兼容的P系列ALD確保了的產出效率,并且具有的工藝純度和薄膜均勻性,甚至能滿足具有嚴格要求的半導體行業標準。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設計節約了昂貴的場地成本,系統的易維護性減少了停工期。ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品,可以覆蓋細小的地方,難到達的地方。具有高度的保形性、均一性及無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業里,實現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上,例如金屬,玻璃,塑料,乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術,ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。

技術指標

襯底尺寸和類型

156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背)

高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背)

大批量的3D產品(例如:鐘表部件,珠寶,硬幣,醫療植入部件,機械部件等)

多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品

工藝溫度

50 - 500 °C

基片傳送選件

氣動升降(手動裝載,帶叉車forklift cart)

全自動轉載,用工業機器人實現

前驅體

液態、固態、氣態、臭氧源

前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務

8根獨立源管線,多加載12個前驅體源

重量

2000 kg

尺寸(W x H x D)

230 cm x 270 cm x 125 cm

選件

PICOFLOW™ 擴散增強器,N2發生器,尾氣處理器,定制設計,與工廠軟件連接服務。

應用領域

Picosun的ALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色,防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰傳統的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域,ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。

ALD工業領域及應用

產品

ALD應用

醫療植入(牙科,連接技術)

植物活性層, 用來提高骨融

手術固定器

合,生物兼容的包覆層

植入醫療器件

生物兼容包覆層

(,耳蝸植入)

收藏性硬幣

防著色涂層

鐘表部件

防著色層或裝飾層

珠寶

防著色層或裝飾層

PCB

防錫晶須及腐蝕


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