PICOSUN原子層沉積系統ALD R-1000 Pro
(PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro)
名稱:原子層沉積系統 產地:芬蘭
Picosun簡介
Picosun是一家公司,Picosun的總部位于芬蘭的Espoo,其生產設施位于芬蘭的Masala(Kirkkonummi)。PICOSUN®ALD設備專為高產量和高產量而設計,并且不斷發展以提。Picosun適應性強其客戶包括zui 大的電子制造商,小型的型挑戰者以及的大學。 Picosun的組織機構和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發工具具有的內置可擴展性,可確保將研究結果平穩過渡到大批量工業制造中,而不會出現技術差距。Picosun的熱情在于。當您想與設備制造商共同創建定制的ALD解決方案,從而引ling行業發展時,Picosun是您的合作伙伴。
型號:PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量產ALD系統定義了高產量ALD的新時代。我們全自動化、真空集群與產線兼容的P系列ALD確保了的產出效率,并且具有的工藝純度和薄膜均勻性,甚至能滿足具有嚴格要求的半導體行業標準。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設計節約了昂貴的場地成本,系統的易維護性減少了停工期。ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品,可以覆蓋細小的地方,難到達的地方。具有高度的保形性、均一性及無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業里,實現各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上,例如金屬,玻璃,塑料,乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術,ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。
技術指標
襯底尺寸和類型 | 156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背) |
高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背) | |
大批量的3D產品(例如:鐘表部件,珠寶,硬幣,醫療植入部件,機械部件等) | |
多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品 | |
工藝溫度 | 50 - 500 °C |
基片傳送選件 | 氣動升降(手動裝載,帶叉車forklift cart) |
全自動轉載,用工業機器人實現 | |
前驅體 | 液態、固態、氣態、臭氧源 |
前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務 | |
8根獨立源管線,多加載12個前驅體源 | |
重量 | 2000 kg |
尺寸(W x H x D) | 230 cm x 270 cm x 125 cm |
選件 | PICOFLOW™ 擴散增強器,N2發生器,尾氣處理器,定制設計,與工廠軟件連接服務。 |
應用領域
Picosun的ALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色,防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰傳統的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域,ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。
ALD工業領域及應用 | |
產品 | ALD應用 |
醫療植入(牙科,連接技術) | 植物活性層, 用來提高骨融 |
手術固定器 | 合,生物兼容的包覆層 |
植入醫療器件 | 生物兼容包覆層 |
(,耳蝸植入) | |
收藏性硬幣 | 防著色涂層 |
鐘表部件 | 防著色層或裝飾層 |
珠寶 | 防著色層或裝飾層 |
PCB | 防錫晶須及腐蝕 |
















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