研究開發用中電流離子注入設備IMX-3500
中電流離子注入裝置IMX-3500為能量200keV、對應晶圓尺寸8inch的離子注入裝置，適用于大學等機構的研究開發。
產品特性 / Product characteristics
? 晶圓尺寸8inch，搭載了可對應不定形基板的臺板。
?離子源，除Gas source之外，另外可以使用安全方面更容易處理的B、P、As離子等固體蒸發源。
? HV terminal的部分，與量產裝置是同樣的構成，可確保高信賴性。
產品應用 / Product application
? 教育、研究開發等
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。