EVG®120 Automated Resist Processing System

EVG®120 自動(dòng)抗蝕劑處理系統(tǒng)

EVG®120是緊湊，經(jīng)濟(jì)高效的抗蝕劑處理系統(tǒng)，可在潔凈室空間有限的情況下啟動(dòng)生產(chǎn)。

技術(shù)數(shù)據(jù)

EVG120通用和全自動(dòng)抗蝕劑處理工具能夠處理高達(dá)200 mm / 8“的各種基板形狀和尺寸。EVG120采用全新的超緊湊設(shè)計(jì)，并帶有新開(kāi)發(fā)的化學(xué)柜，可用于外部存儲(chǔ)化學(xué)品，同時(shí)提供更高的通量能力，針對(duì)大批量客戶需求進(jìn)行了優(yōu)化，并準(zhǔn)備在大批量生產(chǎn)（HVM）中使用EVG120為用戶提供了，這是其他任何工具所

特征

晶圓尺寸可達(dá)200毫米；超緊湊設(shè)計(jì)，占用空間小；多2個(gè)涂布/顯影室和10個(gè)熱/冷板

用于旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻的多功能模塊的多功能組合為許多應(yīng)用領(lǐng)域提供了巨大的機(jī)會(huì)

化學(xué)柜，用于化學(xué)品的外部存儲(chǔ)

旋轉(zhuǎn)蓋可降低抗蝕劑消耗并優(yōu)化抗蝕劑涂層的均勻性

Megasonic技術(shù)用于清潔，聲波化學(xué)處理和顯影，可提高處理效率并縮短至數(shù)分鐘

機(jī)器人具有雙末端執(zhí)行器功能，可確保連續(xù)的高產(chǎn)量