




LG/LGH螺桿真空泵系列
螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室,轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙,兩個轉子與泵體之間形成了密封腔,當轉子旋轉時把密封腔內的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封,泵腔內*無油,因此螺桿真空泵是無油干式真空泵,在半導體、電子工業中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的*性,可較好地替代旋片式真空泵、滑閥式真空泵使用。
螺桿真空泵的一個導程相當于一級泵,多個導程的螺桿真空泵相當于多級泵串聯,相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯的干式真空泵而言,因螺桿真空泵的各級泵之間無內部通道,而是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側,因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。
螺桿真空泵性能特點
1.工作腔內無潤滑油存在,可獲得清潔真空,
2工作腔內無油氣污染被抽氣體,工藝性氣體回收利用率高,尾氣處理方便;同時也避免了油氣和油煙等的排放,環境污染小。
3工作腔內無潤滑油存在,避免了因潤滑油乳化、變質而出現的運行故障,提高了系統的穩定性,同時減少了泵潤滑油的損耗。
4.泵適用范圍廣。泵工作腔及螺旋轉子表面有防腐涂層,可適應惡劣的工況;
5泵腔為間隙密封結構,對少量小顆粒粉塵不敏感;采用防爆配置時可用于抽除易燃易爆的氣體。
6氣體在泵腔內無壓縮,泵工作時泵腔內溫度達到100℃以上,使可凝性氣不易冷凝,且泵腔內為直通結構,排氣口在泵腔底部,泵腔內的雜物容易排出,因此適宜抽取可凝性氣體。
7泵可單獨使用,或者與羅茨泵、分子泵等組合成無油真空機組,作為機組的前級泵使用。單泵進氣壓力在1Pa至大氣壓均能正常工作,抽氣效率高,可大大簡化抽真空系統。
8.螺桿泵工作時需保持較高溫度,且泵工作時外表面自然散熱的效率相對提高,且冷卻水與泵體溫差大,冷卻效果好因此泵冷卻水用量少,對冷卻水的溫度要求低。
9.泵采用封閉式結構,避免了泵工作時因動密封磨損而出現的潤滑油外漏現象。
10.泵腔內各零件采用間隙密封,零件間無接觸摩擦存在,零件損耗小,壽命長;同時泵轉速高,整機體積小
11.螺桿泵結構簡單,零件種類、數量少,維護方便。
12.螺桿泵結構合理,能適應多種維護、保養措施,對多種對泵有危害性的情況擁有相對應的處理方法,并可配置相對應的結構或附件,針對性強、維護效果好,操作簡單,處理時間短,能更好地保證設備的正常運轉。
13.螺桿泵轉子均作G1級動平衡試驗,運行時泵的振動小。
14.啟動快,啟動電流小,啟動時對電網的沖擊小,啟動后泵即達正常抽速。
















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