平面度公差依：GB4987-85標準：
000級=1×(1+d/1000)um 00級=2×(1+d/1000)um
0級=4×(1+d/1000)um 1級=8×(1+d/1000)um
（d為對角線mm）（測量溫度一般在20±2℃ 大理石平板比重：2970-3070kg /㎡ 抗壓強度：245-254N/m 線膨脹系數：4.61×10-6/℃，吸水率：﹤0.13% 肖氏硬度：Hs70以上
0級=4×(1+d/1000)um 1級=8×(1+d/1000)um
（d為對角線mm）（測量溫度一般在20±
| 規格 長×寬×厚 | 重量kg | 000級精度 μm | 00級精度 μm | 0級精度 μm | 1級精度 μm |
| 300×300×50 | 19 | 1.5 | 3 | 6 | 12 |
| 400×300×70 | 25 | 1.5 | 3 | 6 | 12 |
| 400×400×70 | 48 | 2 | 3.5 | 6.5 | 13 |
| 630×400×100 | 76 | 2 | 3.5 | 7 | 14 |
| 630×630×100 | 155 | 2 | 4 | 8 | 16 |
| 800×600×100 | 156 | 2 | 4 | 8 | 16 |
| 1000×630×130 | 284 | 2.5 | 4.5 | 9 | 18 |
| 1000×750×150 | 338 | 2.5 | 5 | 9 | 18 |
| 1000×1000×150 | 450 | 2.5 | 5 | 10 | 20 |
| 1600×1000×200 | 963 | 3 | 6 | 12 | 24 |
| 2000×1000×200 | 1200 | 3.5 | 6.5 | 13 | 26 |
| 1600×1600×300 | 2312 | 3.5 | 6.5 | 13 | 26 |
| 2000×1600×300 | 2890 | 3.5 | 7 | 14 | 28 |
| 2500×1600×300 | 3612 | 4 | 8 | 16 | 32 |
| 3000×2000×500 | 9030 | 4.5 | 9 | 18 | 36 |
| 4000×2000×500 | 12040 | 5.5 | 11 | 22 | 44 |
| 6000×2000×700 | 25284 | 7.5 | 15 | 30 | 60 |
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