NEXIV VMZ-H系列影像測量儀
達到NEXIV系列中的精度，兼具高度的易用性和高性能。
VMZ-H3030以高精度為核心
VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）機型，以及一系列高質量的光學器件，標配有TTL（通過鏡頭的）掃描激光器。該系統設計用于提供高精度測量。
NEXIV系列的精度
由于其設計和結構，VMZ-H達到了NEXIV系列中的精度。
5種光學變焦系統
有5種類型可供選擇，以滿足不同的視場和分辨率要求。
快速高度測量
高精度、快速高度測量通過高精度透鏡激光自動對焦實現，能夠以每秒1000點的速度進行快速掃描。
測量困難樣本的能力
利用尼康自有的照明配件，可以輕松測量難測的邊緣和特征。
不間斷自動測量
即使部件定位發生變化，也可以實現精確測量。
規格參數
| XYZ 量程 | 300x300x150 mm |
| 最小讀數 | 0.01 μm |
| 載重量 | 30 kg (精度保證: 10 kg) |
| 允許誤差 (20 kg以下) | EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm |
| 精度保證溫度 | 20 °C ± 0.5 K |
| 驅動速度 XY, Z | 100 mm/s , 50 mm/s |
| 最小驅動速度 XY, Z | 0.01 mm/s , 0.001 mm/s |
| 相機 | VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相機為選配，僅適用于 Type 1, 2 和 3. |
| 工作距離 | Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外環光時僅10 mm) / Type 4: 30 mm Type TZ: 31 mm (低倍物鏡), 11 mm (高倍物鏡) |
| 自動對焦 | 影像, 激光 |
| 電源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5A - 2.5 A |
| 外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 | 主機帶底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg 控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 約 15 kg |
| 占地大小 (WxD) | 3000×2800 mm |
| 光源 | |
| Type 1, 2, 3 和 4 | 全白色LED反射, 透射, 3層8方向環光/Type 4 僅1層 |
| Type TZ | 反射, 透射, 暗場 |
| 電源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5 A - 2.5 A |
光學倍率
| 光學系統 | 光學倍率 | 視野大小 | 主要應用 |
| Type 1 | 0.5X - 7.5X | 9.33×7.01~0.622×0.467 mm | 模具, 機械零件 (家電, 汽車), PCB, 電子零件 |
| Type 2 | 1X - 15X | 4.67×3.5~0.311×0.233 mm | |
| Type 3 | 2X - 30X | 2.33×1.75~0.155×0.117 mm | 電子零件 |
| Type 4 | 4X - 60X | 1.165×0.875~0.078×0.058 mm | 高密度封裝基板 (線寬，間距，高度) |
| Type TZ | 1X - 120X | 4.67×3.5~0.039×0.029 mm | 晶圓 (WLP, bump 高, 重布線模板, MEMS模板) |
5 種光學系統可供選擇. Type 1, 2, 3 提供低失真的清晰圖像和大視野，Type 4 和 TZ 提供高倍率。5種光學系統應對不同的視野范圍和倍率大小。
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