該款產品以我們公司主動式來培育起來的除振技術加上SBM機構，再加上新型空氣彈簧用。實現(xiàn)了低固有頻率的桌子型除振臺
用途 膜厚計、段差計、線幅、測長計測、
激光干渉計測、其他 計測機器
特長：
水平方向支持機構‘sbm機構"(pat。p / usp)。低水平的自旋等。
配備設備的重量無關,在水平方向固有振動數(shù)幾乎一定可以了。
幽靈,垂直方向來看,除振興機構
上海精密儀器儀表有限公司
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該款產品以我們公司主動式來培育起來的除振技術加上SBM機構，再加上新型空氣彈簧用。實現(xiàn)了低固有頻率的桌子型除振臺
用途 膜厚計、段差計、線幅、測長計測、
激光干渉計測、其他 計測機器
特長：
水平方向支持機構‘sbm機構"(pat。p / usp)。低水平的自旋等。
配備設備的重量無關,在水平方向固有振動數(shù)幾乎一定可以了。
幽靈,垂直方向來看,除振興機構
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