應用十五、氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏

德國Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應用案例—深圳某事業有限公司

一、 電磁閥閥芯檢漏原因:
該客戶是為日本某半導體設備廠生產精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）,一共有5個型號,月產量2000-3000個閥. 精密零件鐳射焊接（電磁閥閥芯）產品如下圖:

二、 電磁閥閥芯檢漏方法
大概的檢測過程為:來料用放大鏡目視檢測,鐳射焊接完成后再目視檢測,最后用氦氣質譜檢漏儀做最后檢測,漏率值以氦氣檢漏儀測出的資料為準.

客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現在新上的項目都改為德國Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因為,只有德國Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測試,且資料可靠.另外還具有操作簡單,生產效率高的優點.

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

由于半導體工業上用的氣體如矽烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質譜檢漏儀能達到了.
1),先將閥接入工裝,形成一個密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.
2),啟動氦質譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時顯示一個漏率值.
3),在鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.
4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對象品質不合格.如果漏率值能達到要求,該被檢物件合格,檢漏檢測完成.

應用十六、氦質譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

閥門的密封性能是考核閥門品質優劣的主要指標之一. 所以在設計生產閥門時就
要提高其密封性能, 并且在出廠前道工序應對閥門做密封性檢測. 目前國內
許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進行氣密性檢測, 但是使用此方法只能檢到漏孔
比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對產品品質要求
的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經無法滿足要求. 為了保證產品競爭, 許多廠家引
進了氦氣檢漏儀, 對于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被為可靠的方法之一.
而德國Pfeiffer 氦質譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內部模組化設計、檢測維修方便、
使用簡單、一鍵式操作等優點受到廣大客戶的青睞.

上海閥特流體主要生產銷售各種自動控制閥門, 部門產品出口到國外. 如下圖所示
為該司生產的直通閥, 用于有毒氣體設備, 為了作業人員安全及避免環境污染, 客戶
要求出廠前對閥門做氣密性檢測.

二、閥門檢漏方法
Pfeiffer HLT 系列氦質譜檢漏儀同時擁有兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode)
及正壓模式 (sniffer mode), 可根據客戶不同需求, 選擇不同的檢漏方法. 閥門多
采用檢漏儀的負壓模式既真空模式檢漏, 其最小可檢查漏率為5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作
1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管連接待檢測的直通閥與德國Pfeiffer HLT 560
氦質譜檢漏儀.





2. 啟動DUO 旋片泵, 直通閥抽真空, 同時啟動氦質譜檢漏儀并顯示一個漏率值. 當旋片泵
抽真空到達一定真空度（背壓為 25 mbar業界）時, 可以進行檢漏操作.

3. 如下圖工作人員向直通閥密封處和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察檢漏儀上顯示的
漏率值有無變化.



4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象品質不合格. 如果漏率值能
達到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測完成.