真空腔體

容量

310 l

內部尺寸

740 mm

高度

680 mm

Door Opening

W x H 550 x 680 mm

整機漏率

<1x10-5 mbar x l /s

最終壓力

<5x10-7 mbar

高真空泵組(標準型)

分子泵

Hipace 2300

隔膜泵

旋片泵

DUO 035

真空測量

全量程真空計

電源

電壓

3 x 400 V

頻率

50/60 HZ

水冷

Chamber Usage approx (a)

700 l/h

Pump Set Usage approx (a)

15 l/h

進氣溫度

25 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/4"

Hot Water

Chamber Usage approx (a)

700 l/h

進氣溫度

70 °C

壓力

4 – 6 bar

In- and Outlet Nipple

3/8"

尺寸

占地面積

2.1 m²

L x W x H

1.6 x 1.7 x 1.9 m

重量

950 kg

環境溫度

40 °C