質量流量計外置式氣體配比器KT-C4ZS按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強 根據客戶要求隨意添加
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
配置1質量流量
2單向閥單向出氣
3觸摸屏控制，5段可編程序（時間-流量隨意設置定值）
4采用316金屬管道耐腐蝕性強
用途1半導體制造行業中氣體流量控制
2各種真空鍍膜設備
3特種材料表面處理
5混合配氣系統
6環境監測與分析設備
質量流量計外置式氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 | |||
可根據需求定制 | |||||
產品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選) | ||||
產品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調節 | ||||
時間設定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | ||||
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路） | ||||
氣體混合罐 | 有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調） | ||||
流量累計 | 有（累計當前運行總流量） | ||||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||
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