氣敏材料真空探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
該氣敏材料真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調節(jié)，其中X方向調節(jié)范圍：0－30mm；y方向調節(jié)范圍：0－13mm；z方向調節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
實驗腔體 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
內腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
觀察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可調 |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進氣閥門 | 高精密針閥 |
抽氣閥門 | KF25真空擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針數量 | 4個 |
探針材質 | φ1.5鎢針 其他材質可選 |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網信號屏蔽線 |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
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