氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)采用PLC控制，先對被檢工件抽空到設(shè)定的真空度，然后切換到檢漏狀態(tài)，對工件噴氦檢漏，用檢漏儀檢測工件的漏率。整個系統(tǒng)確保檢測精度高、檢測效率高、長期可靠、安全使用。真空壓力變化、漏率變化等都可以在觸摸屏上顯示，閥門等能通過觸摸屏操作。

本裝置包括氦質(zhì)譜檢漏儀及多工位真空排氣兩大部分。真空排氣作為整個檢漏系統(tǒng)的預(yù)抽真空泵組，系統(tǒng)通過真空閥門切換進(jìn)行分時抽空檢測。從而實現(xiàn)縮短檢測周期，提高設(shè)備使用效率。