配合檢漏罐和氦質譜檢漏儀,可以滿足GJB548B-2005《微電子器件試驗方法和程序》對電子器件/半導體器件等全密封件的背壓法泄漏檢測。
參數
內徑:100mm-350mm
深度:130mm-580mm
厚度:3mm-8mm
耐壓:6bar
內容積:1L-60L
充氣接口:Φ6
材料:304不銹鋼
配安全閥5KG,壓力表
常用標準壓氦罐
1L,5L,8L,10L
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