系列名稱 QV ACCEL 808 QV ACCEL 1010 QV ACCEL 1212 QV ACCEL 1517

光學系統 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3

標準型 型號 QV-A808P1L-D QV-A808P3L-D QV-A1010P1L-D QV-A1010P3L-D QV-A1212P1L-D QV-A1212P3L-D QV-A1517P1L-D QV-A1517P3L-D

貨號 363-315-10Y 363-316-10Y 363-335-10Y 363-336-10Y 363-355-10Y 363-356-10Y 363-375-10Y 363-376-10Y

跟蹤自動對焦裝置 型號 QV-A808T1L-D QV-A808T3L-D QV-A1010T1L-D QV-A1010T3L-D QV-A1212T1L-D QV-A1212T3L-D QV-A1517T1L-D QV-A1517T3L-D

貨號 363-321-10Y 363-322-10Y 363-341-10Y 363-342-10Y 363-361-10Y 363-362-10Y 363-381-10Y 363-382-10Y

測量范圍 800×800×150mm 1000×1000×150mm 1250×1250×100mm 1500×1750×100mm

分辨力／長度基準 0.1µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動轉臺 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色

照明裝置*2 反射照明 白色LED

透射照明 白色LED

程控環形照明 白色LED

測量精度*3 E1 XY軸 (1.5+3L/1000)µm (2.2+3L/1000)µm

E1 Z軸 (1.5+4L/1000)µm (2.5+5L/1000)µm

E2 XY平面 (2.5+4L/1000)µm (3.5+4L/1000)µm

精度保證光學條件 2.5倍物鏡(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 低倍管透鏡

重復精度*3 短寸法 XY軸 3σ=0.2µm

長寸法 3σ=0.7µm 3σ=1.5µm

精度保證溫度 環境溫度 20±1 ?C

溫度變化 2oC/8H

LAF重復精度*4 σ≦0.8µm*5

工作臺玻璃尺寸 883×958mm 1186×1186mm 1440×1440mm 1714×1968mm

臺面承重*6 10kg 30kg 30kg 30kg

主機外觀尺寸 1475×1860×1578mm 1912×2141×1603mm 2166×2370×1554mm 2440×2898×1554mm

主機重量 2050kg 2950kg 3600kg 4500kg