系列名稱 QV STREAM PLUS 302 QV STREAM PLUS 404 QV STREAM PLUS 606

型號 QV-X302P1S-D QV-X302T1S-D QV-X404P1S-D QV-X404T1S-D QV-X606P1S-D QV-X606T1S-D

貨號 363-172-10Y 363-176-10Y 363-182-10Y 363-186-10Y 363-192-10Y 363-196-10Y

光學系統 PRO PRO PRO

跟蹤自動對焦裝置

測量范圍 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm

分辨力／長度基準 0.1µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動轉臺 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD

照明裝置*2 反射照明*3 彩色LED

透射照明 青色LED

程控環形照明*3 彩色LED

測量精度*4 E1 XY 軸 (1.5+3L/1000)µm

E1 Z 軸 (1.5+4L/1000)µm

E2 XY平面 (2.0+4L/1000)µm

精度保證光學條件 2.5倍物鏡(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 中倍管透鏡

精度保證溫度 環境溫度 20±1 ?C

溫度變化 2oC/8H

LAF重復精度*5 ? σ≦0.8µm ? σ≦0.8µm ? σ≦0.8µm

工作臺玻璃尺寸 399×271mm 493×551mm 697×758mm

工件質量*6 20kg 40kg 50kg

主機外觀尺寸 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm

主機重量(含設置臺) 360kg 579kg 1450kg