沒有漂移:不會因電源電壓、自發熱而導致信號點漂移
沒有遲滯:可進行小位移的連續檢測
動作點偏差小:1μm(范圍)的重復精度、可用作CNC機床的原點,基點
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沒有漂移:不會因電源電壓、自發熱而導致信號點漂移 沒有遲滯:可進行小位移的連續檢測 動作點偏差小:1m(范圍)的重復精度、可用作CNC機床的原點,基點
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