催化燃燒設備是把活性炭和催化燃燒爐兩者的優點有效地結合起來。先是利用活性炭進行吸附VOCS有機廢氣，當活性炭吸附飽和時，啟動催化燃燒設備，并利用熱空氣局部加熱活性炭吸附床，將濃縮后的有機廢氣脫附出來，當催化燃燒反應床加熱到250℃，活性炭吸附床局部達到60～110℃時，脫附出來的高濃度廢氣就可在催化爐中進行氧化分解。反應后的高溫氣體經換熱器的換熱，換熱后的帶有熱量的氣體一部分再次送入活性炭吸附床進行脫附，另一部分凈化后的氣體直接排放。?

催化燃燒設備該工藝主要采用催化劑，廢氣在催化劑作用下發生氧化反應，生成無毒無味的二氧化碳（CO2）和水（H2O）；

其的換熱系統保證了余熱的有效回收，達到降低運行成本的效果，當廢氣濃度達到一定程度時，換熱系統能使有機廢氣加熱到催化氧化反應的起始溫度，無需電加熱，通過自身熱量平衡處理有機廢氣。