碳化硅軸套,碳化硅陶瓷釜用密封件可以用于滑動軸承，

主要用于輸送介質的屏蔽泵和磁力泵上，也可用于其它。

一種碳化硅滑動軸承用軸套，所述軸套為套筒狀，

其特征在于：軸套內側兩端部為固定配合面1，

中部為非固定配合面2，軸套外側中部為滑動配合面3，

兩端為非滑動配合面4。具有隨溫度增高而發生自動變形、

補償和吸收泵軸與碳化硅滑動軸承套熱膨脹量的差異、

不對其外側的碳化硅套產生具大漲力的優點，

從而克服了碳化硅套被漲碎的現象，增大了泵的使用范圍，

提高其使用壽命，克服了現有技術之不足。

碳化硅陶瓷具有優良的常溫力學性能，如高強度、

高硬度、高彈性模量等，的高溫穩定性，如高導熱系數、

低熱膨脹系數等，以及良好的比剛度和光學加工性能，

特別適合用于制備光刻機等 集成電路裝備用陶瓷結構件，

如用于光刻機中的運動工件臺、骨架、吸盤、水冷板以及精

密測量反射鏡、光柵等陶瓷結構件等，方泰新材經過多年的技術攻關

，解決了大尺寸、薄壁、中空等復雜結構碳化硅結構件的加工制備難題，

突破了該類碳化硅結構件制備技術的技術瓶頸，

推進了集成電路制造裝備用關鍵結構件的國產化。

１、碳化硅陶瓷主要包含無壓燒結碳化硅(SSiC)、反應燒結碳化硅（RBSC）、化學氣相沉積碳化硅（CVD-SiC）

２、碳化硅具有各種的性能：超硬 高熱導率和機械強度、 低熱膨脹系數、 的熱穩定性、低密度、高比剛度、無磁性。

３、目前在航空、航天、核工業等各個行業均有碳化硅陶瓷的應用，如碳化硅陶瓷反射鏡，IC集成電路制造等裝備用陶瓷部件，條件下的熱交換器、材料等。