HUGLE HS-7600

HS-7600

ダイシングフレーム及びウェハをフィルムにマウントしカットします。
気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接觸式も製作可能です。

( 6 インチフレーム対応)

製品概要

ウェハのフィルムマウントは、高精度のダイシングを実現する上で重要な要素となります。
Model HS-7600 ウェハフィルムマウンティング裝置は、常にフィルムにテンションを掛けた
狀態でマウントする獨自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を入れる事なく、確実なマウントを行ないます。
ウェハ表面の損傷に十分配慮した特殊ステージと、オペレーターの“ Skill "を必要としない組込み式ローラーの使用により高い“ Yield "を実現します。また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備しています。
●ウェハサイズ　6 インチ
●各種ダイシングフレーム使用可能
●フィルム幅　HS-7600 ： 240 mm
●ウェハ表面ヘの損傷防止の為の、特殊ステージ採用
●ステージ溫度調整　MAX 100℃
●フィルム切斷機構付
●ローラー圧の調整可能

イオナイザーによる靜電気対策可

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