ANT130V-5單軸升降直驅(qū)納米定位平臺(tái)

ANT130V-5是直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的楔形垂直升降級(jí)。它可以很容易地與其他級(jí)集成，包括ANT130系列中的載物臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)的多軸性能，并提供兩種精度等級(jí)。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)
納米級(jí)性能，垂直行程為 5 mm
高分辨率 （2 nm）、可重復(fù)性 （100 nm） 和精度 （200 nm）
防蠕變交叉滾子軸承
高動(dòng)態(tài)性能
非接觸式直接驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)
ANT130V-5系列保留了原來ANT系列的所有直接驅(qū)動(dòng)優(yōu)勢(shì)。只有非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)才能提供大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備所需的堅(jiān)固、準(zhǔn)確和高速定位。ANT130V-5級(jí)采用Aerotech開創(chuàng)的*直驅(qū)技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)的定位性能。這種直驅(qū)技術(shù)具有高性能、無齒槽、非接觸、高速、高分辨率和高精度。這種的驅(qū)動(dòng)器和軸承組合封裝在極小的外形和占地面積中，在許多應(yīng)用中提供了切實(shí)的優(yōu)勢(shì)，例如高精度定位、磁盤驅(qū)動(dòng)器制造、光纖對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)延遲元件驅(qū)動(dòng)、傳感器測(cè)試和掃描過程，這些都需要平穩(wěn)和精確的運(yùn)動(dòng)。

靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)
ANT130V-5系列具有通用安裝和桌面模式，易于系統(tǒng)集成。兩個(gè)、三個(gè)或更多軸可以輕松組合，以實(shí)現(xiàn)靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)和多軸配置。

系統(tǒng)特點(diǎn)
出色的精度、位置可重復(fù)性和就位穩(wěn)定性需要高系統(tǒng)分辨率。ANT130V-5 級(jí)業(yè)界的 2 nm 最小增量步長(zhǎng)尺寸提供了這種高水平的性能。高品質(zhì)、抗蠕變、交叉滾子軸承有助于實(shí)現(xiàn)出色的就位穩(wěn)定性。該載物臺(tái)在產(chǎn)品的整個(gè)使用壽命期間提供幾乎免維護(hù)的運(yùn)行。Aerotech的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)沒有遲滯或齒隙，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且可重復(fù)的納米級(jí)運(yùn)動(dòng)。