這款手動型晶圓探針臺廣泛用作分析探針臺和RF探針臺,可測試200mm晶圓,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件測試和晶圓探針臺測試應用。

　　手動型晶圓探針臺特色

　　手動操作樣品臺，行程范圍225mm x 225mm

　　加載或卸載晶圓非常方便

　　傳統的粗調和微調臺板設計,范圍12.5mm

　　光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空

　　高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數3.5X~180X

　　帶有相機接口

　　兩側帶有連接接口,適合連接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

　　標準的XYZ三維位移臺顯微鏡

　　可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件

　　手動型晶圓探針臺規格參數

　　適合晶圓大小：200mm

　　手動XY位移臺： 行程范圍225mm x 225mm， 分辨率5um

　　臺板行程：12.7mm 或更大，

　　臺板調整：帶有粗調和微調功能,重復精度+/-1.5um

　　臺板平面度 lt;+/-12.7um @150mm長度

　　臺板剛度： <5um @4.5kg

　　樣品夾盤規格

　　真空：多區真空

　　平面度：+/-13um

　　擊穿電壓：500V

　　隔離度：1G歐姆

　　調整：360度粗調， +/-6度微調

　　顯微鏡：高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數范圍3.5X~180X

　　電學接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

　　安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）

　　整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

　　凈重：85kg ~95kg (根據所選不同配件）