MZG-5N研究級金相顯微鏡
針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的,作為金相顯微鏡用戶在使用時能夠體驗其性能,可廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式,在反射光照明下可進行明暗場觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。符合人機工程學要求的設(shè)計,使您在工作中感到舒適和放松。
特點說明
1.采用了UIS高分辨率、長工作距離光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2.拓展了物鏡的復用技術(shù),遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,DIC并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3.采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4.WF10×(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5.可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
| 技術(shù)規(guī)格 | |
| 觀察頭 | 30°鉸鏈式三目(50mm-75mm) |
| 目鏡 | WF10×/25mm |
| WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
物鏡 平場遠長工作距離明暗場物鏡 | 5×/0.1B.D/W.D.29.4mm |
| 10×/0.25B.D/W.D.16mm | |
| 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm | |
| 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | |
| 50×/0.55B.D/W.D.5.1mm | |
| 80×/0.75B.D/W.D.4mm | |
| 100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器 |
| 平臺 | 雙層移動平臺,平臺尺寸:189mm×160mm移動范圍:80mm×50mm |
| 濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍、中性) |
| 聚光鏡 | N.A.1.25阿貝聚光鏡帶可變光闌和濾色片 |
| 調(diào)焦 | 粗、微動同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動機構(gòu).微動格值0.002mm |
| 光源 | 透射照明:鹵素燈12V/50W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) |
| 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/50W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) | |
| 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
| 檢測工具 | 0.01mm測量尺 |
| 可供附件 | 二維測量軟件、專業(yè)金相圖像分析軟件 |
| 落射照明 | 鹵素燈12V/100W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) |
| 測微目鏡 | 130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 |
| 攝影裝置及CCD接口 | 0.5×、0.57×、0.75× |
| DIC | 10×、20×、40×、100× |
| 壓平機 | 彩色1/3寸CCD 520條線 |
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