MX8R半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
展現(xiàn)真實(shí)清晰顯微圖像
安全穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。
多檔分光比觀察頭設(shè)計(jì)
采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)，觀察視野支持26.5mm，帶給您全新的大視野體驗(yàn)。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
采用精密軸承設(shè)計(jì)的高性能物鏡轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
大行程機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)
可選擇多種不同平臺(tái)
采用8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè)、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具的檢測(cè)、可觀察較厚的標(biāo)本。平臺(tái)面積525mm×330mm,移動(dòng)范圍210mm×210mm，采用離合器手柄，只需握住手柄即可靈活移動(dòng)。
另可選6英寸平臺(tái)觀察對(duì)應(yīng)樣品。平臺(tái)面積445mm×240mm,移動(dòng)范圍158mm×158mm,離合平臺(tái)操作方式與8英寸相同。
各項(xiàng)附件
長(zhǎng)工作距物鏡
由5X、 10X、 20X、50X、100X,5只長(zhǎng)工作距物鏡組成，全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡，采用半復(fù)消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
高性能微分干涉組件，可以將明場(chǎng)觀察下無法檢測(cè)的細(xì)微高低差，轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來，廣泛用于LCD導(dǎo)電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測(cè)等領(lǐng)域。
MX8R技術(shù)規(guī)格表
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正系統(tǒng) |
| 觀察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC |
| 觀察筒 | 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭，5°-35°傾角可調(diào)、倒像，瞳距調(diào)節(jié)50-76mm，三檔式分光比:50:50或100:0或0:100 |
| 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜，正像，瞳距調(diào)節(jié): 50-76mm, 分光比100:0或0:100 | |
| 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭，30°傾斜，倒像，瞳距調(diào)節(jié)范圍50-76mm, 三檔式分光比，0: 100或20 : 80或100:0 | |
| 目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 | |
| 物鏡 | 無限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡5X 10X 20X 50X 100X |
| 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡20X | |
| 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X 100X | |
| 無限遠(yuǎn)明場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡5X 10X 20X 50X 100X | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 明暗場(chǎng)五孔/六孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
| 明場(chǎng)六孔/七孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm.帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按扭; |
| 載物臺(tái) | 右手位8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積525mm×330mm,移動(dòng)范圍:210mm×210mm ;帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);反射配金屬平臺(tái)，透反配玻璃平臺(tái) |
| 右手位6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mm×240mm,移動(dòng)范圍:158mm×158mm ;帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);反射配金屬平臺(tái)，透反配玻璃平臺(tái) | |
| 照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
| 攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn) 式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺; DIC微分干涉組件 |
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