美國Nano-master 兆聲晶圓清洗機SWC-3000
特點：
。臺式系統
。無損兆聲掩模版或晶圓片清洗及旋轉甩干
。支持12"直徑的圓片或9"x9"方片
。微處理機自動控制
。IR紅外燈
應用：
。帶圖案或不帶圖案的掩模版和晶圓片
。Ge, GaAs以及InP晶圓片清洗
。CMP處理后的晶圓片清洗
。晶圓框架上的切粒芯片清洗
。等離子刻蝕或光刻膠剝離后的清洗
。帶保護膜的分劃版清洗
。掩模版空白部位或接觸部位清洗
。X射線及極紫外掩模版清洗
。光學鏡頭清洗
。ITO涂覆的顯示面板清洗
。兆聲輔助的剝離工藝
選配項：
。掩模版或晶圓片夾具
。PVA軟毛刷清洗
。化學試劑清洗(CDU)
。氮氣離子發生器
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