德國SENresearch 4.0:擁有寬光譜范圍的光譜橢偏儀

新的SENresearch 4.0設(shè)計用于光譜橢偏儀，在寬的光譜范圍從190nm（深紫外）到3,500 nm（近紅外）。每一臺SENresearch 4.0都是客戶特定的橢偏光譜解決方案。SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測量等。使用步進掃描分析器原理實現(xiàn)測量結(jié)果。

寬光譜范圍和高光譜精度

SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。



雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過創(chuàng)新的雙補償器2C設(shè)計擴展了步進掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設(shè)計是可現(xiàn)場升級和實現(xiàn)成本效益的附件。





沒有光學(xué)器件運動(步進掃描分析器原理)

為了獲得測量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學(xué)器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于*材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。



SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項和現(xiàn)場可升級附件而制造的。



SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率。可測量硅薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達1700納米。

新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學(xué)編碼器確保精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動，用于散射測量和角度分辨透射測量。



SENresearch 4.0 根據(jù)步進掃描分析器(SSA)原理進行操作。SSA將強度測量與機械運動分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應(yīng)用的快速測量模式。



定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標(biāo)準和高級應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方

SpectraRay/4 是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的綜合軟件。它包括兩種操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執(zhí)行常規(guī)應(yīng)用程序。交互式模式通過交互式圖形用戶界面引導(dǎo)通過橢偏測量。



SpectraRay/4 提供了光譜橢偏儀測量和分析的所有工具。