三坐標的平臺是花崗巖結構，這樣三坐標的主軸也是花崗巖材質。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質，在溫度變化時會因為三軸的熱膨脹系數不均同而引起測量精度的失真和穩定。

　　三坐標測量儀機型介紹：

　　結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構

　　傳動方式：直流伺服系統 預載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為μm

　　測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力： MPa - Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤ L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤μm

　　移動橋架型三坐標測量儀介紹：

　　移動橋架型，為常用的三坐標測量儀的結構，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿水平梁在方向移動，此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架"，橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導槽在軸方向移動。因為梁的兩端被支柱支撐，所以可得到小的撓度，且比懸臂型有較高的精度。

　　L形橋架型三坐標測量儀介紹：

　　L形橋架型，這個設計乃是為了使橋架在軸移動時有小的慣性而作的改變。它與移動橋架型相比較，移動組件的慣性較少，因此操作較容易，但剛性較差。

　　軸移動懸臂型三坐標測量儀介紹：

　　軸移動懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動，懸臂梁沿著在水平面的導槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會造成精度不高。

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