檢測項目

　　※SEM斷口觀察 + 微區污染EDS分析：

　　觀察金屬、塑料、陶瓷等固體材料的表面微觀形貌以及測量微小尺寸。分析固體表面微區

　　含有的元素種類,各元素的 相對含量以及各元素在特定區域內的含量分布情況 。

　　※表面成份 + 深度 GD-OES分析：

　　既可以進行基體成分分析,如硬質合金材料,也可以進行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、

　　電鍍層、熱處理硬化層、涂裝層、陽極氧化膜及化膜的表面工藝分析。

　　※制程質量缺陷分析

SEM/EDS

　　功能: 微形貌觀察、微小尺寸量測、微區成分分析

　　#8231;放大倍率: 5倍~30萬倍

　　#8231;探測器分辨率: 133eV

　　#8231;可分析元素范圍: Be(4)~U(92)

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輝光放電光譜儀(GD-OES)

　　#8231;功能: 基材成分測試、表面成分-深度剖析

　　#8231;特點: 可得到產品表面成分隨深度的分布曲線

　　#8231;深度范圍: 10nm~150mu;m

　　#8231;成分范圍: 10ppm~99%

參考標準:

　　依設備生產商方法

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