儀器特點

n 移動橋式精密花崗巖架構，高精度，高穩定性

n 高精度0.1um分辨率進口開放光柵系統

n 四軸CNC控制系統，全自動測量

n 全閉環伺服運動控制系統，速度快、精度高

n 搖桿/鼠標操作，簡單易用

n 程控5環8區LED冷光源，平行輪廓光源，同軸光源

n 根據客戶工件的具體情況，提供不同的照明組合

n 全自動高精度變倍鏡頭

n 可聚焦測高，可加裝接觸式測頭和激光測頭模組

n 可以按照客戶需求提供定制化設計

基本參數:

設 備 名 稱 ： 高精度視覺測量系統

型 號 ： G60S

行 程 （mm） ： 600×700×200

外形尺寸（mm）：1320×1710×1650

整機重量（kg）： 1550

機臺承重（kg）：80

測 量 精 度 ：E2XY=（3+L/200）μm ； E1Z=（5+L/100）μm ； L表示測量長度，以毫米為單位

運 行 速 度 ： VXY=500mm/s ；Vz=100mm/s

工 作 環 境 ：溫度：20℃±5℃ ；溫度變化 lt;2℃/hr；濕度：30%～60%

電 源 要 求 ：電壓：220V 50/60 Hz ；功率：1800W ；用電設備要求接地可靠：接地電阻小于4Ω。