特征：

測量范圍：300 x 150 x 150 mm

25公斤承載力

亞微米的光柵尺分辨率

平臺移動速度X-Y: 150 mm/秒; Z: 100 mm/秒

誤差映射：在XY平面非線性二維糾錯

超精密雙重放大光學系統

可編程多色環形燈（PRL）選項
TTL激光選項，具有自動聚焦和掃描功能

的圖像處理性能，快速、精確、穩健

雙通道，數字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例

次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel

*的測量軟件和數據分析工具可供選擇

平均工作時間 MTBF ≥ 8,000 小時

Benchmark的應用范圍包括：

半導體/電子
BGA, μBGA, CSP, 倒裝芯片, MCM, bump-on-die

引線框，引線接合

柔性線路板，連接器
SMT元件貼裝

錫膏/環氧數脂膠點

芯片載體和托盒

噴墨打印機墨盒

光纖組件和MEMs

數據存儲

懸置件

滑塊和懸臂組（HGA）

磁盤介質基板

精密注塑和機加工件

模具和

醫療設備

燃料噴射部件

手表組