真空泵粉塵過濾器為圓筒形立式結(jié)構(gòu)，筒體分隔成四部分：即進(jìn)氣管，外筒，內(nèi)筒，出氣管。內(nèi)筒下部設(shè)有導(dǎo)流板，中間設(shè)有旋流板（或稱導(dǎo)流葉片）和擋板，上部裝有金屬過濾網(wǎng)，下部與外筒相通，工作時(shí)在筒體底部盛以真空泵油。空氣從切線方向被吸入外筒，沿著外筒壁高速旋轉(zhuǎn)向下，氣流中的塵粒受離心力作用被分離出來。接著氣流經(jīng)過導(dǎo)流板掠過一段油面，到了導(dǎo)流板縮口處氣流就直接沖擊油面，使油面連續(xù)波動(dòng)。產(chǎn)生出來的油沫和氣流夾在一起并旋轉(zhuǎn)向上，部分被黏附在內(nèi)筒壁上形成油膜，氣流中的細(xì)小塵粒和油沫相接觸而黏附在一起。油膜不斷的積聚內(nèi)筒壁上，在重力的作用下沿著筒壁從上往下流，形成一道道下垂的油幕。空氣穿過時(shí)大部分灰塵被捕捉。而氣流在內(nèi)筒內(nèi)繼續(xù)旋轉(zhuǎn)上升，穿過旋流板后加劇旋轉(zhuǎn)，有力的將氣流中夾帶的油滴一部分通過擋板被甩入回油槽中，由回油管流入筒底。還有一部分沿內(nèi)筒壁回流，將筒壁上油膜所捕集到的粉塵洗落到筒底，產(chǎn)生新一輪油幕。zui后氣流再次通過金屬過濾網(wǎng)，濾去較小的塵粒和油滴，以此達(dá)到濾清空氣的目的。隨著真空度的上升，溶解在真空泵油里的空氣將以氣泡的形式被分解出來，會(huì)產(chǎn)生大量的油沫，來維持高真空環(huán)境下的油過濾，zui終還是通過金屬過濾網(wǎng)來濾除油沫和粉塵。