NPA 壓電疊堆促動器配有高度可靠的多層低壓壓電換能器堆疊。它們通過機械彈簧在內(nèi)部完成預(yù)加載，具有高諧振頻率，這使其成為高載重動態(tài)應(yīng)用的理想之選。
亞納米定位分辨率
載重能力
可選應(yīng)變計位置反饋
真空兼容版本
特征
亞納米定位分辨率
NPA 壓電疊堆促動器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以進行超精細(xì)調(diào)節(jié)，且分辨率僅受限于控制電子器件的噪聲。
載重能力
NPA 壓電疊堆促動器可以產(chǎn)生高達 1000 N 的力，因而特別適用于機床、主動隔振或自適應(yīng)機制。
適合閉環(huán)工作的可選應(yīng)變計
閉環(huán)版本具有高分辨率位置傳感器，可實現(xiàn)且可重復(fù)的運動，而且還會對促動器的移動進行補償。裝配基于惠斯通電橋進行，并且對溫度不敏感。閉環(huán)設(shè)備可用于開環(huán)或閉環(huán)控制。
真空兼容版本
NPA 壓電疊堆促動器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環(huán)境中使用。
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