超高精度直接驅動垂直線性平移臺：XMS-V 系列通過在經過驗證的 XMS 設計中添加平衡機構，實現超精密垂直運動。在所有垂直平移臺中，XMS-V 具有超佳的 MIM 和雙向重復性，且速度kuai。超高性能的垂直平移臺，具有出色的精度、重復性和 MIM。非接觸直接驅動系統，可平衡超精密、高動態運動和可靠操作。超大型無鐵心高效率線性電機可大限度地減少發熱?？谷渥兘徊鏉L子軸承可以在不移動軸承罩的情況下確保無波紋運動。兩種類型的平衡可用：氣動型或可自動防故障的磁性型。

超高精度直接驅動垂直線性平移臺有如下特征：

高精密和平滑運動：無鐵直接驅動技術支持高動態運動，基本上沒有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導致持續降低和更多可重復的跳動。此外，由于沒有驅動螺絲，可實現高精密定位所需的卓yue的無波紋運動

高精密線性編碼器：高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的卓yue MIM。該低熱膨脹標尺的精確對準和安裝使溫度變化對平移臺重復性和精度的影響降至低。

平衡選項:直接驅動電機、借助于平衡負載、抵消重力的影響、減輕電機的工作并具有線性電機的所有優勢。氣動平衡選項可針對不同負載進行調整。即使在切斷電機電源時，磁平衡選項也可防止托架向下漂移。

防蠕動式交叉滾子軸承:與楔形設計相比，由相配對的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導軌，可在高靈敏度操作中實現卓yue的無波紋運動，同時防止罩移位。