半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D
自動吸引式
特點(diǎn)：
•于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。采用聲光報警。
•型號 XP-703D
•檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、、硅烷、氫氣等）
•檢測原理 型半導(dǎo)體式 ，采樣方式 自動吸引式
半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703D
•可檢測濃度 ，砷烷 磷烷 硅烷 氫氣AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
•檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
•應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)
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