薄膜及塊體塞貝克(seebeck) 系數和電阻率檢測 嘉儀通 熱電參數測試系統Namicro-Ⅲ
本儀器采用準動態法(具有技術)和四探針法分別測量樣品的 seebeck 系數和電阻率。不僅可用于測量半導體塊狀樣品,康銅、鎳、鉍等金屬半金屬樣品,石墨、碳材料等非金屬樣品的seebeck 系數和電阻率,還可測薄膜(納米)樣品的 seebeck 系數和電阻率。
優勢
擁有獨立知識產權,獲得多項技術;
動態法測量 seebeck 系數,避免了傳統靜態測量法在溫差測量方面的系統誤差,測量更準確;
seebeck 系數和電阻率測量不共用電壓探針,避免出現微型熱電偶斷裂失效的問題;
采用雙向加熱系統;
自動斷電保護;
附有薄膜附件(無需主機,直接使用),可直接測量膜材料常溫下的 seebeck 系數和電阻率。
特點
硬件設計
1.動態法測量塞貝克系數,避免了靜態測量法在溫差測量方面的系統誤差,測量更準確。
2.塞貝克系數測試采用雙向加熱技術,可實現雙向加熱動態測量。
3.電阻率測量和塞貝克系數測量不共用電壓探針,避免了當前其它產品經常會出現的微型熱電偶斷裂失效的問題。
軟件設計
1.界面友好,操作方便。可實時顯示采集數據、測試狀態以及測試結果。
2.高度自動化。既可以全自動測量,也支持半自動和手動采集測量。全自動測試時,只需設置起始溫度、終了溫度以及測試步長三個值即可,溫度曲線設置大為簡化。
3.數據采集處理實時顯示,通過軟件讀取數據文件可一目了然地查看測量數據質量。
4.測試結果存儲在以測試者名字命名的文件夾內、文件名涵蓋樣品以及測試時間信息,數據查看一目了然。數據存儲為“. txt"格式,可以和各種辦公軟件如 Excel、Origin 等數據共享。
技術參數
| 溫度范圍 | RT~800 ℃ | RT~1000 ℃ | RT~1200 ℃ |
| 溫控方式 | PID 程序控制 | ||
| 真空度 | ≤ 50Pa | ||
| 測試氣氛 | 真空 | ||
| 測量范圍 | 塞貝克系數:S ≥ 8x10 -6 V/K; 電阻率:10 -7 Ωm ~ 0.1Ωm | ||
| 分辨率 | 塞貝克系數:5x10 -8 V/K; 電阻率:5x10 -8 Ωm | ||
| 相對誤差 | 塞貝克系數 ≤ 6%(擬合度:99.999%),電阻率 ≤ 5% | ||
| 測量模式 | 全自動 | ||
| 樣品尺寸 | 塊體樣品: 長條形,長 x 寬:( 2~5 ) X ( 2~5 ) mm ; 高度:10 ~ 18mm 薄膜樣品: 長方形,長 ≥ 23mm,寬 ≥ 28mm | ||
注:對于薄膜樣品,目前只能測常溫下的 seebeck 系數與電阻率,故無需真空與 PID 程序控制。
樣品要求
塊體:可直接切割加工處理,完成加工后具備平整上下端即可,其尺寸滿足前述長寬高要求的長方體
若樣品表面有腐蝕或氧化等雜質層覆蓋,需對樣品表面進行拋光處理,使材料裸露出來且保證接觸良好
薄膜:滿足上述尺寸要求, 待測面平整, 薄膜均勻性好, 保證與康銅片接觸良好, 厚度zui低可至 100nm,其均勻性有較高要求,薄膜厚度達到微米級較好
薄膜材料的襯底需選擇電阻率較大或絕緣材料為宜,如玻璃、Si 等材料
測試樣例














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