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臭氧在水中對細菌、病毒等微生物殺滅率高、速度快，對有機化合物等污染物質去除而又不產生二次污染，因此飲用水殺菌消毒是臭氧應用的最主氯消毒在自來水廠應用是很普遍的。但臭氧對細菌的殺滅率更高，殺滅速度更快。要部門，自來水行業是臭氧的市場。
氯消毒對水質pH值改變特別敏感，pH值由變到氯的投加量要加大倍，而臭氧投加量改變不大。目前使用臭氧代替氯消毒最主要的因素，也是傳統使用氯消毒的美國、日本等國家都在快速發展采用臭氧處理自來水的主要原因，在于隨著水源受有機化學工業產物污染，氯消毒后會產生氯仿、溴二氯甲烷、等氯化有機物（THM），這些物質具有致癌性，而臭氧處理中氧化作用不產生二次污染化合物。
我國瓶裝水采用臭氧殺菌凈化工藝普遍、積極，粗略估算，礦泉水、純水、潔凈水廠一千多家，約60%已采用臭氧殺菌工藝。由于技術監督、防疫部門已形成共識，沒有臭氧設備的瓶裝水廠很難在市場上競爭。隨著瓶裝水市場的發展，國內發展了一大批臭氧設備生產企業。臭氧發生器、投加混合設備品種繁多，質量參差不齊，甚至虛報，使瓶裝水質量得不到保證。其關鍵在于處理水應達到~/L的臭氧溶解度值，這首先要求投加臭氧量應滿足1m3水2g臭氧的條件，同時必須保證水----氣充分接觸并保持一定的時間。根據實踐經驗，臭氧發生濃度高于8mg/L時容易達到溶解度要求。
污水處理包括城市污水、工業污水與醫療污水的處理，主要目的為殺菌消毒、去除污染物質并脫色除味以達到排放標準。近幾年由于水資源匾乏，行業主管部門制定了工業、生活污水回用的法規，提高了處理標準。
美國在本世紀七十年代初開始利用臭氧處理生活污水，其主要的目的為消毒并降低生物耗氧量（BOD）和化學耗氧量（COD），去除亞硝酸鹽、懸浮固體及脫色，已達到全面生產應用的水平。日本則在缺水地區進行污水臭氧處理后作為非食用水（即中水）循環使用。
工業污水臭氧用來對電鍍含氰污水氧化、紡織印染污水脫色、精煉污水去酚、烷類物質等。美、日、德、法等國近年都建立了大規模的污水處理廠，我國煉油、印染行業也有試驗性應用。

1)何謂臭氧？ 答：臭氧又名超氧或強氧，分子符號O3，英文名稱OZONE；其濃度高時呈淡藍色，為西元1785年，德人Van Marum于雷雨后，發現空氣特別清新，因其具有草鮮味，而知其存在。至西元1840年，德人SchorBein 以OZONE命名之。OZONE具有新鮮空氣的意思。

2)臭氧之特性？ 答：臭氧之性質比氧(O2)活潑，比重為氧氣的倍，氧化能力僅次于氟，殺菌力為氯的3000倍。臭氧能于時間內將空氣及水中的浮游細菌消滅，并能中和、分解各種有毒物質，去除一切惡臭，并能漂白澄清水中污染雜質。

3)臭氧之原理？ 答： (1) 臭氧是由三個原子氧(O)結合而成的一個分子(O3)。 (2) 當臭氧產生時，臭氧分子結構中的第三個原子氧會不斷的從此結構中游離或逸出，當逸出時，會于瞬間產生極大的殺菌、解毒、漂白、脫臭等氧化作用。臭氧如果未與其他物質產生氧化反應，即會自行分解為純氧(O2)。

4)大自然如何產生臭氧？ 答：暴風雨中閃電、打電會產生大量的臭氧，臭氧可以凈化空氣，是故雷雨后，空氣特別清新。太陽光中的紫外線會放射高能，令大氣層形成光化學反應而產生臭氧，地球上百分之九十以上的臭氧集中于臭氧層，臭氧層可以吸收有害的輻射線，以屏蔽地面上的生物。

5)人工如何產生臭氧？ 答： (1) 人工產生的方法，可分化學法、電解法、紫外線照射法與無聲放電法。其中以無聲放電法使用，高。 (2) 所謂無聲放電法，在兩電極間，放入一介電體，并送入交流高壓電，在其間隙會有紫色光輝產生，而有臭氧之生成。

6)臭氧發生器有何用途？ 答：臭氧因的殺菌、解毒、漂白、脫臭能力，因而用途極廣： (1)食品工業生產制程之改善。 (2) 大樓空調、廢水排放處理。 (3) 自來水生飲設備之消毒、殺菌。 (4) 水產養殖漁業之應用。 (5) 日常飲用水之殺菌消毒。 (6) 大型環保工程，工業化學廢水、廢氣之處理。 (7) 實驗室、無菌室之使用。 (8) 辦公室、臥室、客廳之空氣凈化。 (9) 皮膚漂白殺菌。 (10) 蔬果農藥殘毒之去除、改善。 (11) 魚類、肉類除臭、殺菌、分解抗生素。 (12) 游泳池殺菌、消毒。