GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為 6“ 的真空管式爐 , 它可以在Z大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的Z高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為 6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | - 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷.
- 爐體表面溫度< 70 ºC
- 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能
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工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規(guī)格 | - 6" O.D x 40" 長
- 標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管, 多余的管子可單獨(dú)訂購 (點(diǎn)擊下圖查看)

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加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 | - 工作溫度: 400 -1100°C
- 升降溫速率: 10°C/min(max)
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加熱區(qū) | - 加熱區(qū)總長: 600mm (24'')
- 恒溫區(qū)長度: 中心200mm (精度±1°C)
- 在800℃時(shí)爐膛溫度分布曲線( 點(diǎn)擊下圖查看)

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控溫儀 | - 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器
- 設(shè)有一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
- 雙K型熱電偶測溫.
- 溫控精度: ±1°C
- 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購
- 可選: PC接口和軟件
 
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密封法蘭和進(jìn)氣接口 | - 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi)
- 右端法蘭上設(shè)有一個(gè)鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對(duì)爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請(qǐng)訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶)
- 包括兩個(gè)高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

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產(chǎn)品尺寸 | 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm |
凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機(jī)保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
質(zhì)量認(rèn)證 | Certificate |
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