德國aixACCT激光干涉儀

品牌介紹：

aixACCT是您在材料開發和設備鑒定方面進行電氣測試的合作伙伴，并通過提供新的測試概念和系統解決方案縮短了客戶新產品的上市時間。產品通過不斷創新，涵蓋從材料研究到原型測試以及生產過程中的質量保證的整個范圍。多年來積累了豐富的設計開發經驗以及技術知識，通過不斷地研究發展，為客戶提供高品質的產品及服務。

產品范圍：

德國aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執行器。

主要型號：

TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

相關產品介紹：

雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將的雙光束技術擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統，以進行長達8英寸的晶圓表征。

用于測量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經過驗證的精度（x切割石英），max可達0.2 pm / V。該系統的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數據采集算法，測量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激發頻率記錄的薄膜的電氣和機械數據。由于差分測量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進行此類測量的主要障礙。

測量:

-機電大信號應變和極化測量。

-壓電小信號系數和介電常數與直流偏置電壓的關系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數。

-電氣和機電性能疲勞。

aixDBLI系統的性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機電系統）設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統的出色分辨率和可重復性優于2％，可大規模生產。整個裝置包括位于減振室內的光學組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

技術數據:

-解析度:1 pm經過x-cut Quartz測試

-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V

 至25 V（可選）

-壓電d 33系數：

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V

         至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類似于d 33

-C（V）測量: 

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V

          至25 V（可選）

小信號：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V